ENDO CORPORATION 株式会社 遠藤商会
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SOIウエハー規格
詳細仕様は、お客様の用途に合わせ、相談の上決めさせて頂きます。
 直径  4、5、6、8(インチ)
 SOI層厚  0.5〜100um
 酸化膜厚  0.5〜4um
 活性層  伝導性  P 又は N
 ドーパント  Boron 又は Phos.
 結晶方位  1-0-0
 比抵抗  0.01〜50Ωcm
 支持基板  伝導性  P 又は N
 ドーパント  Boron 又は Phos.
 結晶方位  1-0-0
 比抵抗  0.01〜50Ωcm
 仕上厚  300〜750um


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